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本发明提供一种磨削装置，其装备有清洗卡盘工作台保持面的卡盘工作台保持面清洗机构而装置整体不会大型化。磨削装置具备卡盘工作台、磨削构件、卡盘工作台定位构件以及卡盘工作台清洗机构，卡盘工作台清洗机构具备：平坦化工具，其装配于与卡盘工作台的保持面...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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