下载超高密度垂直与非记忆器件及其制造方法的技术资料

文档序号:8391046

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披露了一种单片三维NAND串以及制造方法。所述串的通道(1)可以是垂直的或V形。该通道的芯填充有绝缘体。控制栅极(3)相对于中介电介质层凹入。电荷存储区域(9)以及阻挡块(7)形成于该凹入部中。屏蔽翼(12)可在控制栅极之后形成。...
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