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所公开的实施例提供了一种实现模块化架构的可定制分发系统，该可定制分发系统包括智能控制器，该智能控制器被配置成，操作敏感于印刷图案中的缺陷的各种半导体制造工序中的各种气动泵和电动泵。该智能控制器被配置成，当将与第一泵的连通切换至第二泵时，自动...
该专利属于恩特格里公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩特格里公司授权不得商用。

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