具有智能控制器的可定制分发系统技术方案

所公开的实施例提供了一种实现模块化架构的可定制分发系统，该可定制分发系统包括智能控制器，该智能控制器被配置成，操作敏感于印刷图案中的缺陷的各种半导体制造工序中的各种气动泵和电动泵。该智能控制器被配置成，当将与第一泵的连通切换至第二泵时，自动识别该第二泵，并且应用用于控制该第二泵的控制方案，该第二泵可以是电动泵或气动泵。所述切换可以因该第一泵的物理断开和该第二泵的物理连接而造成，或者其可以完全经由软件来进行。该智能控制器可以连接至轨道和多种装置，包括智能过滤器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开总体上涉及半导体制造工序中的液体分发，并且更具体地说，涉及具有用于控制可定制泵操作以满足半导体制造领域的不同需要的智能控制器的新分发系统。
技术介绍
存在许多必须精确控制通过泵送装置分发流体的量和/或速率的应用。在半导体制造工序中，例如，重要的是，控制向半导体晶片涂敷诸如光致抗蚀剂化学品的光化学品的量和速率。半导体制造工序指用于创建存在于日常电气和电子装置中的集成电路的工序。其包括一系列摄影和化学加工步骤，在此期间，电子电路逐渐地创建在由纯半导体材料制成的晶片上。在加工期间涂敷至半导体晶片的涂层通常需要横跨晶片表面的、以埃(angstrom)测量的特定平坦度和/或甚至厚度。必须小心控制向晶片上涂敷(即，分发)加工化学品的速率，以确保均匀地涂敷加工流体。 在半导体工业中使用的许多光化学品可以非常昂贵。因此，高度希望的是，确保使用最小但足够量的化学品，并且该化学品不被泵送装置破坏。遗憾的是，这些希望的品质在现今的泵送系统中因许多相关障碍而可以极难实现。例如，由于输入供应问题，压力对于不同的系统而改变。由于流体动力学和特性，压力需要对于不同流体而改变(例如，具有高粘度的流体需要更多压力)。因为这些障碍是相互关联的，所以有时解决一个障碍可能导致更多的问题和/或使得事情更糟。此外，不同的应用具有不同的需要。满足特定应用的需要的泵系统可能不适于不同的应用。
技术实现思路
在半导体制造中，各种泵可以被用于混合化学品和将化学品的混合物分发到晶片上。诸如Entegris IntelliGen迷你光刻滚动边缘隔膜泵的高性能泵可以被用于直接混合和分发化学品(Entegris and IntelliGen 是 Entegris, Inc. of Chaska, Minnesota 的商标)。这些化学品可对于不同应用而改变，并且不同的应用可以具有不同的需要。由此，在分发化学品中使用的泵系统必须考虑多种因素，包括尺寸、成本、性能(速度和准确度两者)、可靠性、适应性等。在此公开的实施例可以利用可定制分发系统来解决这些需要，该可定制分发系统建立在模块架构上，并且包括用于控制这种通用的“即插即用”分发系统中的组件的单一主控制器。在本公开内，术语“可定制”指在此公开的分发系统的实施例可以容易改变、修改、或以其它方式更改以使适应各种需要的事实。无论何时出现这种需要，这种改变、修改、或更改都可以动态发生。例如，在此公开的可定制分发系统的一个实施例可以初始地构建有气动至气动配置。由空气作用驱动的泵(气动泵)通常比电动机驱动的泵(电动泵)更便宜，并且可以提供正压过滤和良好的吞吐量，其使这种气动至气动配置对于诸如用于非关键层的处理应用来说是理想的。对于关键层应用来说，气动至气动配置可以容易改变、修改，或以其它方式更改成电动机至电动机配置。在一些实施例中，单一的主控制器配置有必需的智能，并因而在此被称为“智能”控制器，以自动地识别可定制分发系统中的变化并且根据新配置和/或新应用来操作。在一些实施例中，在此公开的可定制分发系统的智能控制器可以被配置成操作敏感于印刷图案中的缺陷的半导体制造工序中的多个泵。所述多个泵可以包括至少一个气动泵和至少一个电动泵。该可定制分发系统还可以包括多条线，所述多条线连接该智能控制器与轨道和各种装置。在一些实施例中，所述各种装置可以包括 具有射频识别标签的过滤器、传感器、以及泵头部。在一些实施例中，该智能控制器还被配置成，当将所述多条线中的一条线从与第一泵连通切换至与第二泵连通时，自动识别该第二泵，并且应用与该第二泵相对应的控制方案，以便在不需要最小停机时间(若有的话)的情况下精确且准确地控制该第二泵。在一些实施例中，该切换可以发生在电动泵之间、气动泵之间、或者气动泵与电动泵的混合体之间。例如，用户可以拔掉气动泵而插入电动泵来接管那些气动泵的特定功能。示例功能可以包括化学品馈送和分发。在一些实施例中，可能不需要物理断开/连接，并且该切换完全经由软件完成。在一些实施例中，该智能控制器可以被配置成，当与新连接的泵接口连接时，自动识别该新连接的泵，并且应用与该新连接的泵相对应的控制方案，该新连接的泵可以是电动泵或气动泵。该智能控制器可以包括存储有与多个泵相关联的信息的板载数据库。在一些实施例中，该智能控制器可以被配置成控制一个或多个集成泵。在一些实施例中，集成泵可以包括物理地组合为一个单元的两个或更多个气动泵。该单元中的所述两个或更多个气动泵可以彼此独立地操作。在一些实施例中，该智能控制器还可以进一步被配置成独立地控制该单元中的所述两个或更多个气动泵。在一些实施例中，可定制分发系统可以包括一组馈送泵和一组分发泵。在一些实施例中，智能控制器可以被配置成操作可以包括一个或多个集成泵的该组馈送泵和该组分发泵。在此公开的软件实现的实施例可以按可以驻留在一个或多个非暂时计算机可读介质上的合适的计算机可执行指令来实现。在本公开内，术语“计算机可读存储介质”涵盖所有类型的可以通过诸如处理器或控制器的处理单元读取的数据存储介质。计算机可读存储介质的示例可以包括随机存取存储器、只读存储器、硬盘驱动器、数据盒式磁带、软盘、闪速存储驱动器等。在此公开的实施例可以提供许多优点。例如，代替固定数量的泵，在此公开的可定制分发系统可以支持随着时间数量可变的不同类型的泵。这种混合和匹配灵活性允许该系统针对每一个特定应用特制，缩减维护该系统的成本，并向新类型的泵和/或新系统机构提供一种容易升级的方法。当结合下面描述和附图考虑时，本公开的这些方面和其它方面将被更好地懂得和理解。然而，应当明白，下面的描述在指示本公开的各种实施例及其许多特定细节时，通过例示的方式而非限制的方式给出。在不脱离本公开的精神的情况下，可以在本公开的范围内进行许多置换、修改、添加和/或重新配置，并且本公开包括所有这种置换、修改、添加和/或重新配置。附图说明附图和本说明书的形成部分被包括以描绘本公开的特定方面。应注意到，图中例示的特征不必按比例绘制。通过参照结合附图的下列描述，可以获取对本公开及其优点的更完整理解，附图中，相同标号指示相同特征，并且其中图I描绘了示例多级式泵(“多级泵”)的图解表示图；图2和3描绘了示例多级泵的立体图；图4描绘了示例单级泵的立体图；图5描绘了用于可定制分发系统的模块化架构的一个示例实施例的图解表示图；图6描绘了具有控制气动馈送泵和气动分发泵的智能控制器的可定制分发系统 的一个示例实施例的图解表示图；图7描绘了具有控制气动馈送泵和电动分发泵的智能控制器的可定制分发系统的一个示例实施例的图解表示图；图8描绘了具有控制电动馈送泵和电动分发泵的智能控制器的可定制分发系统的一个示例实施例的图解表示图；图9描绘了具有气动至气动配置的可定制分发系统的一个示例实施例的图解表示图；图10-15例示了可定制分发系统的一个示例实施例的泵控制和序列操作；图16-17描绘了集成泵的示例实施例的图解表示图；图18描绘了集成泵的一个示例实施例的透视俯视图；以及图19描绘了集成泵的一个示例实施例中的气动泵的分解图。具体实施例方式参照在附图中例示并且在以下描述中详细说明的示例性并由此非限制性的实施例，对本公开及其各种特征和有利细节进行更全面的说明。可以省略对已知编程技术、计算机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·塞德罗恩，I·加什盖，P·J·玛谷恩，J·M·布拉格恩，G·L·格内尔拉，J·O·维尔，
申请(专利权)人：恩特格里公司，
类型：
国别省市：