下载准垂直功率MOSFET及其形成方法的技术资料

文档序号:8388002

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MOSFET包括半导体衬底,具有:顶面;第一导电类型的体区,位于所述半导体衬底中;以及双扩散区DDD区,具有低于体区的底面的顶面。DDD区为第二导电类型,第二导电类型与第一导电类型相反。MOSFET进一步包括:栅极氧化物,和通过栅极氧化物与...
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