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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:8388000
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一种半导体器件及其制造方法。所述半导体器件包括:半导体层;对所述半导体层构图而形成的第一鳍片,对所述半导体层构图而形成的第二鳍片;所述第一鳍片与第二鳍片的顶面持平,二者的底面接于所述半导体层,且第二鳍片的高度高于第一鳍片的高度。根据本发明,...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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