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数据存储装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:8387943
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本发明公开一种数据存储装置及其制造方法,该数据存储装置可包括:衬底;晶体管,位于衬底上,晶体管包括栅线结构;以及导电隔离图案,限定晶体管的有源区。每个导电隔离图案包括埋入衬底中的至少一部分,并且导电隔离图案彼此电性连接。...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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