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导体图案的形成方法技术
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下载导体图案的形成方法的技术资料
文档序号:8387794
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提供一种导体图案的形成方法。在底层上形成种层。以能量射线对种层的部分表面进行照射处理,使得种层包括多个经照射区域与多个未经照射区域。对种层的经照射区域进行转化处理。进行选择性成长制程,以在种层的未经照射区域上生长导体图案。移除种层的经照射区...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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