下载导体图案的形成方法的技术资料

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提供一种导体图案的形成方法。在底层上形成种层。以能量射线对种层的部分表面进行照射处理,使得种层包括多个经照射区域与多个未经照射区域。对种层的经照射区域进行转化处理。进行选择性成长制程,以在种层的未经照射区域上生长导体图案。移除种层的经照射区...
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