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本发明提供一种用于宽带束离子注入机的引出电极系统，包括：Y1方向运动机构(1)，移动支架(2)，安装法兰(3)，引出电极(4)，抑制电极(5)，Y2方向运动机构(6)，Z1方向运动机构(7)，Z2方向运动机构(8)，用于连接抑制电极(5)和...该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。
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