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本发明公开了一种用于离子注入机的束流均匀性检测的装置。一种离子注入机可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作发明一种检测束流均匀性装置。该装置主要包括：束流收集面板(1)、齿条(2)、电机固定块(3)、齿轮(4)等。该装置特征在于，束流收集...该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于离子注入机的束流均匀性检测的装置。一种离子注入机可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作发明一种检测束流均匀性装置。该装置主要包括：束流收集面板(1)、齿条(2)、电机固定块(3)、齿轮(4)等。该装置特征在于，束流收集...