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本发明涉及一种在以液体为基础的单侧处理平坦物体期间允许精确维持衬底和液体表面之间期望的相对垂直距离的方法以及一种适合于此的装置。该方法包括步骤：借助于调节设备比较与当前的垂直距离相关的液位实际值和与期望的垂直距离相关的液位理想值，在偏离液位...
该专利属于睿纳有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过睿纳有限责任公司授权不得商用。

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