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分度误差估计装置、分度误差校准装置和分度误差估计方法制造方法及图纸
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文档序号:8386171
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分度误差估计装置、分度误差校准装置和分度误差估计方法。用于分度误差校准装置的分度误差估计装置,所述分度误差校准装置具有由旋转轴支撑的光栅盘和布置在光栅盘上的至少四个检测器,所述分度误差估计装置包括检测值合成器,其通过将从所述至少四个检测器的...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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