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本发明提供一种光学特性测量装置以及光学特性测量方法。光学特性测量装置(100)具备光源(10)、检测器(40)以及数据处理部(50)。数据处理部(50)具备建模部、分析部以及拟合部。将多个膜模型方程式联立，假设包含在多个膜模型方程式中的光学...
该专利属于大塚电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大塚电子株式会社授权不得商用。

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