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本实用新型提供了一种晶圆定位装置，包括环状底座、中空盖子、标准晶圆、摄像机、计算机和摄像机支架，所述中空盖子盖在所述环状底座上，所述环状底座固定安装在涂胶槽内，真空吸附式卡盘通过所述环状底座的中空部分与涂胶槽内的旋转电机相连，真空吸附式卡盘...该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。