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本实用新型涉及半导体制造装置，尤其是一种气体输送系统，它包括连接至气源的气体入口、连接至反应腔的气体出口；连接于气体入口与气体出口之间的过滤器；连接于过滤器与气体出口之间的流量控制阀；连接于过滤器与流量控制阀之间的止回阀。本实用新型的优点是...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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