温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种获取高电子迁移率晶体管二维电子气局域化程度的表征因子的方法，包括：制备大尺寸圆形肖特基二极管，并测量其电容-电压特性曲线；建立二维电子气面密度ns与费米能级EF的关系图；确定二维电子气面密度ns与费米能级EF之间的经验关系式...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。