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本实用新型提供一种晶圆标记的位置检查装置，属于半导体制程技术领域。该位置检查装置包括：设置有弧形卡槽的卡板、以及设置有标记可视框的定位板；其中，所述弧形卡槽的形状被设置为与晶圆的标记所在的边缘部分的边沿形状相对应，所述定位板的一端在所述弧形...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

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