下载一种晶体管和包括该晶体管的半导体芯片的技术资料

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提供了一种晶体管和包括该晶体管的半导体芯片。该晶体管包括:位于半导体衬底上的有源区,位于所述有源区上的栅叠层、主侧墙和源漏区,其中所述主侧墙环绕所述栅叠层,所述源漏区嵌于所述有源区中且自对准于所述主侧墙的两侧,其特征在于,所述晶体管还包括:...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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