专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
中国科学院微电子研究所
>
一种晶体管和包括该晶体管的半导体芯片制造技术
>技术资料下载
下载一种晶体管和包括该晶体管的半导体芯片的技术资料
文档序号:8360161
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
提供了一种晶体管和包括该晶体管的半导体芯片。该晶体管包括:位于半导体衬底上的有源区,位于所述有源区上的栅叠层、主侧墙和源漏区,其中所述主侧墙环绕所述栅叠层,所述源漏区嵌于所述有源区中且自对准于所述主侧墙的两侧,其特征在于,所述晶体管还包括:...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。