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本发明提供一种有机EL设备制造装置，其具有在真空腔内将蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸发源和将所述基板和蒸镀位置进行定位的掩模罩。具有这样的蒸镀机构：在所述真空腔内内存有N（N为2以上）张基板，在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的时段中，将第N张的...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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