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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:8348364
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本发明涉及一种半导体器件,包括衬底、位于衬底中的沟道区、位于衬底中的源漏区、位于沟道区上的栅极堆叠结构、位于栅极堆叠结构两侧的侧墙、位于侧墙两侧的源漏区上的提升源漏,其特征在于:提升源漏由金属硅化物构成,源漏区与提升源漏之间具有外延生长的超...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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