下载分栅式闪存及其形成方法的技术资料

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一种分栅式闪存,包括:半导体衬底,位于所述半导体衬底表面的字线,位于所述字线两侧的两个分立的存储位单元,所述两个存储位单元与字线之间具有隧穿氧化层;所述存储位单元包括位于所述半导体衬底表面的第一绝缘层、位于所述第一绝缘层表面的浮栅,位于所述...
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