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本发明提供的一种介电常数可调整的金属互连层，包括依次沉积的阻挡层、介质层、金属导线层和阻挡层，所述金属导线层设于所述介质层中，所述金属导线层间的介质层中设有封闭的空隙。本发明的技术方案结构简单、方法简便易行、成本较低，应用本发明可以在固定介...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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