下载多晶硅电阻器结构及其制造方法、多晶硅电阻器的技术资料

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一种多晶硅电阻器结构及其制造方法、多晶硅电阻器。多晶硅电阻器结构制造方法包括:在硅片中形成隔离区;在隔离区上形成第一多晶硅层的侧壁及第一多晶硅层;在第一多晶硅层上形成隔离物及第二多晶硅层,其中所述隔离物与第二多晶硅层不完全覆盖第一多晶硅层的...
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