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本发明提供一种确定光刻照明系统中各元件之间匹配关系的方法，该方法可以准确、快速的确定光刻照明系统各部分匹配关系；具体过程为：确定转像镜倍率K；确定复眼阵列参数，该参数包括复眼阵列微透镜孔径pLA、复眼阵列中微透镜焦距fLA和复眼阵列外径Da...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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