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为了使晶片盒的盒盖与晶片卡槽能够更牢固的连接在一起，本实用新型提供了一种新型的晶片盒盖与晶片卡槽的组合结构、及其制备方法。在晶圆片盒盖沟道表面处增加小条纹，以增大卡槽槽与片盒盖之间最大静摩擦力，提高槽对于外力的承受能力，从而稳定晶圆槽，保护...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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