温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提出了一种真空管道，包括：管体，所述管体的壁上设有用于向所述管体内供给保护气体以避免在所述管体内输送的物料腐蚀所述管体的内壁和/或沉积在所述内壁上的供气孔。根据本实用新型实施例的真空管道，管体上设置有供气孔可向管体内供给保护气体，...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。