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本发明提供一种用于支撑可旋转靶材(10)的装置(100)和具有此装置(100)的沉积设备(200)。该装置包括：主体(110)；第一流体导管(131)，其在主体(110)中用于从可旋转靶材(10)接收流体；以及第二流体导管(132)，其在主...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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