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提供了一种用于物理气相沉积的腔室(200;300;400;500;600;700;900;1000)。腔室包含外壳(210;310;410;510;610;710;910;1010)、腔门(220;320;420;520;620;720;9...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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