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本发明公开了静电夹持装置、光刻设备以及制造静电夹持装置的方法。所述静电夹持装置被配置用于将物体静电夹持至光刻设备中的物体支撑结构。所述夹持装置包括：第一材料层；设置在第一层之上的电极；沉积在电极的各部分之间的绝缘、电介质或半电介质材料；以及...
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