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本发明是一种膜厚测量装置(100)，该膜厚测量装置(100)具备:光源(10)、第一光路、第一聚光透镜、分光测量部(40)、第二光路、第二聚光透镜、以及数据处理部(50)。光源照射具有规定的波长范围的测量光。第一光路将从光源(10)照射的测...
该专利属于大塚电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大塚电子株式会社授权不得商用。

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