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基于正交双光栅的同步移相干涉检测装置及检测方法制造方法及图纸
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下载基于正交双光栅的同步移相干涉检测装置及检测方法的技术资料
文档序号:8299762
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基于正交双光栅的同步移相干涉检测装置及检测方法,属于光学移相干涉检测领域。它解决了现有同步相移方法对光能和CCD有效面积的利用率低的问题。它将双光栅分光技术和偏振调制技术相结合,将准直扩束后的线偏振平行光,通过第一偏振分光棱镜后分成偏振方向...
该专利属于哈尔滨工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工程大学授权不得商用。
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