基于正交双光栅的同步移相干涉检测装置及检测方法制造方法及图纸

基于正交双光栅的同步移相干涉检测装置及检测方法，属于光学移相干涉检测领域。它解决了现有同步相移方法对光能和CCD有效面积的利用率低的问题。它将双光栅分光技术和偏振调制技术相结合，将准直扩束后的线偏振平行光，通过第一偏振分光棱镜后分成偏振方向相互垂直的物光束和参考光束；待测物体和第一反射镜放置在第一偏振分光棱镜的反射方向上，第二反射镜放置在第一偏振分光棱镜的透射方向上，在使用操作中不需要改变光路，也不需要移动任何光学器件，通过一次曝光采集便可获得四幅干涉图样，以达到物体相位恢复的目的。本发明专利技术适用于光学表面、形变及厚度等测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，属于光学移相干涉检测领域。
技术介绍
光学移相干涉测量是一种非接触、高精度的全场测量方法，被广泛的应用于光学表面、形变及厚度等测量领域，但传统的移相技术由于需要在不同时间采集多幅移相干涉图，不适合测量运动物体或动态过程。同步移相可在同一时间得到多幅相移干涉图，克服了传统移相干涉技术的缺点，可实现运动物体或动态过程的实时测量，近年来受到国内外学者的广泛关注。 墨西哥学者G. Rodriguez-Zurita等提出利用一维光栅和偏振调制方法相结合实现同步相移的方法(G. Rodriguez-Zurita, C. Meneses-Fabian, N. I. Toto-Arellano,J. F. Vazquez-Castillo, C. Robledo-Sanchez. One-shot phase-shifting phase-gratinginterferometry with modulation of polarization case of four interferograms.Opt. Express, 2008,16(11) :7806-7817)。该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于正交双光栅的同步移相干涉检测装置，它包括光源(1)，其特征在于：它还包括偏振片(2)、准直扩束系统(3)、第一偏振分光棱镜(4)、待测物体(5)、第一反射镜(6)、第二反射镜(7)、第二偏振分光棱镜(8)、λ/4波片(9)、矩形窗口(10)、第一傅里叶透镜(11)、一维周期幅度光栅(12)、一维周期相位光栅(13)、第二傅里叶透镜(14)、四象限偏振片组(15)、图像传感器(16)和计算机(17)，其中λ为光源(1)发射光束的光波长，一维周期幅度光栅(12)和一维周期相位光栅(13)组成双光栅，一维周期幅度光栅(12)和一维周期相位光栅(13)按照光栅线方向正交放置；光源(1)发射的光...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：单明广，钟志，郝本功，窦峥，张雅彬，刁鸣，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：