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一种晶圆干燥设备及其形成方法，其中，所述晶圆干燥设备，包括：干燥腔体，所述干燥腔体的顶壁具有开口，用于为取出或放入晶圆至干燥腔体提供通道；位于所述干燥腔体侧壁的旋转装置，所述旋转装置用于夹持晶圆高速旋转，以甩干晶圆表面的液滴；与所述开口对应...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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