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本发明涉及一种溅射靶材，包括靶材本体和设置在所述靶材本体上的凸起，所述凸起的表面凹凸不平，所述凸起的高度的变化规律与溅射粒子在靶材各区域的撞击频率的变化规律一致。本发明实施例提供的靶材，在前段消耗中，靶材各处与机台之间距离差距的逐渐减小，所...
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