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本实用新型公开了一种研磨垫拆卸工具,包括手柄和连接杆,所述连接杆的一端垂直连接于所述手柄的中部,所述连接杆上沿连接杆的纵向设有一长条形槽。本实用新型提供的研磨垫拆卸工具,结构简单、易于操作,使用时,先将研磨垫的一小部分卷起,插入到连接杆的长...该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。