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本发明提供一种适于用以测试或处理基板的系统的基板支撑件单元。该基板支撑件单元包含：支撑件台桌，该支撑件台桌具有至少一个基板承载件结构，该基板承载件结构适于支撑基板，该基板承载件结构相对于接地端为电气浮置。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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