温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种用于防止气体混合的大面积沉积装置。本发明涉及的用于防止气体混合的大面积沉积装置使用了多重管结构的喷嘴，将每种气体供给到不同的喷嘴，因此气体从腔室喷出时，均匀混合之后，向腔室内部均匀喷出。即，能够利用简单结构来防止气体在流入腔室内部...
该专利属于泰拉半导体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过泰拉半导体株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。