温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在本文所描述的各种示例性实施方式中，公开了一种系统和相关的方法以减少衬底上的颗粒污染。该系统包括：衬底横移件机构，其具有导轨以传输衬底载体；一个或者多个横移件管道，其至少部分地围绕所述一个或多个导轨安置。所述一个或多个管道沿着所述导轨的长度...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。