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本文公开了一种MEMS可变电容器及其驱动方法，该MEMS可变电容器包括：第一电极，浮置在第一电极的上部上方的第二电极，在第二电极的侧面处分离开的固定电极，以及设置在第二电极和固定电极之间、连接至第二电极并且通过施加到固定电极的电压来与固定电...该专利属于LG伊诺特有限公司;韩国高等科学技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过LG伊诺特有限公司;韩国高等科学技术研究所授权不得商用。