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用于晶体生长的热分解氮化硼容器和使用该容器的半导体晶体生长方法技术
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下载用于晶体生长的热分解氮化硼容器和使用该容器的半导体晶体生长方法的技术资料
文档序号:8275026
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披露了一种热分解氮化硼容器,即使当所述热分解氮化硼容器的直径增大时,所述热分解氮化硼容器的横截面形状仍可保持为正圆,并且所述热分解氮化硼容器不易通过重复使用而变形。本发明的热分解氮化硼容器是用于晶体生长方法的热分解氮化硼容器,在所述方法中从...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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