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本发明涉及微电子技术领域，具体涉及一种Sb80Te20/SbSe纳米复合多层相变薄膜及其制备和应用。本发明的Sb80Te20/SbSe纳米复合多层相变薄膜中Sb80Te20薄膜和SbSe薄膜交替排列，其中，单层Sb80Te20薄膜的厚度为2...
该专利属于同济大学所有，仅供学习研究参考，未经过同济大学授权不得商用。

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