下载具有DBR型电流阻挡层的LED芯片及其制作方法的技术资料

文档序号:8272527

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本发明提供一种具有DBR型电流阻挡层的LED芯片及其制作方法,所述制作方法是首先提供一蓝宝石衬底,并在蓝宝石衬底的上表面形成发光外延层,然后在该发光外延层的P-pad区蚀刻出具有波浪形侧壁及平整底面的凹槽,接着在该凹槽的表面形成介质型DBR...
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