下载半导体太阳电池表面的多层金属纳米颗粒结构及制备方法的技术资料

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一种半导体太阳电池表面的多层金属纳米颗粒结构的制备方法,包括如下步骤:步骤1:在半导体太阳能电池的表面生长一层第一介质膜;步骤2:在第一介质膜上生长一层金属纳米颗粒;步骤3:在金属纳米颗粒的上面再生长一层第二介质膜,并对第二介质膜进行平坦化...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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