下载将单晶半导体层转移到支承衬底上的方法的技术资料

文档序号:8272389

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本发明涉及将单晶半导体层转移到支承衬底上的方法。这种将单晶半导体层(3)转移到支承衬底(1)上的方法包括以下步骤:a)将物种注入施主衬底(31);b)将施主衬底(31)键合至所述支承衬底(1);c)使施主衬底(31)断裂以便将层(3)转移到...
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