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一种装载装置，包括：腔室，腔室侧壁具有输入阀门；对应输入阀门设置的机械手，机械手与第一驱动装置连接，用于支撑晶圆自输入阀门外水平传递至腔室内；位于腔室内的基座，基座与第二驱动装置连接，用于带动基座相对于腔室上下移动；固定于基座表面且若干重叠...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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