下载半导体层中的缺陷消除方法的技术资料

文档序号:8272355

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本发明涉及一种半导体层中的缺陷消除方法,一种消除与将原子物种注入到被转移到受主衬底(2)上的半导体层(10)中相关的缺陷的方法,其中,半导体层(10)通过热传导率低于被转移半导体层(10)的热传导率的层(3,3’)而与受主衬底(2)绝热,所...
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