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本发明提供了用于在半导体衬底的上方形成光刻胶的系统和方法。一个实施例包括具有浓度梯度的光刻胶。可通过使用一系列干膜光刻胶来形成浓度梯度，其中，每个独立的干膜光刻胶均具有不同浓度。各个干膜光刻胶可以独立形成，然后在图样化之前被放置到半导体衬底...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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