下载光阻瓶安全防护器的技术资料

文档序号:8270884

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一种光阻瓶安全防护器,包括:配置于光阻瓶外部的遮挡部,所述遮挡部适于遮挡从光阻瓶内溅射出的光阻。本发明能够有效防止光阻瓶内的光阻飞溅伤害工作人员。...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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