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一种半导体测试装置与测试半导体元件的方法,该装置包括多个测试焊盘;多个测试单元;一开关电路,耦合于测试焊盘与测试单元之间,开关电路包括多个开关元件;以及一控制电路,与开关电路耦合,控制电路可操控使选择性的开启开关元件的一子集合,以建立测试单...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种半导体测试装置与测试半导体元件的方法,该装置包括多个测试焊盘;多个测试单元;一开关电路,耦合于测试焊盘与测试单元之间,开关电路包括多个开关元件;以及一控制电路,与开关电路耦合,控制电路可操控使选择性的开启开关元件的一子集合,以建立测试单...