下载一种基于稀疏孔径拼接的平面光学元件检测方法的技术资料

文档序号:8270187

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本发明涉及一种基于稀疏孔径拼接的平面光学元件检测方法。子所述检测装置包括:二维平移台、干涉仪和标准平面透镜,具体步骤为:将所述平面光学元件固定在二维平移台上,干涉仪对准所述平面光学元件的位置;调节二维平移台到达指定目标分布区域,使干涉仪出瞳...
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